產(chǎn)品編號(hào)：FDG0506、FDG0906
主要用于半導(dǎo)體的
1 立式垂直系統(tǒng):立式外管、內(nèi)管、立式舟、保溫筒等。
2 臥式水平系統(tǒng)；氧化、擴(kuò)散、CVD過(guò)程用石英管道、石英舟等。
3 半導(dǎo)體其他工藝系統(tǒng):刻蝕反應(yīng)管、清洗槽、石英加熱管、點(diǎn)火裝置等。
產(chǎn)品規(guī)格
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