電子信息、半導(dǎo)體行業(yè)
2017-09-16 18:09:491、石英玻璃擴(kuò)散管;
IC芯片制造，對(duì)單晶硅片進(jìn)行摻雜、擴(kuò)散、氧化、退火等關(guān)鍵工序要使用高純度、耐高溫、低熱膨脹的石英玻璃擴(kuò)散管。影響最終集成電路和器件的質(zhì)量、成本和生產(chǎn)效率是石英玻璃的純度、抗高溫變形性能、幾何尺寸和外觀質(zhì)量性能，目前使用的直徑一般為200~600mm,要求為大規(guī)格、高純度和長(zhǎng)壽命。另外可在管內(nèi)表面涂高純SiO2,外表面噴涂Al2O3或SiC,經(jīng)高溫火焰處理，形成微晶層，可顯著提高石英玻璃的抗高溫變形性能（1200℃提高到1280℃）。
2、石英玻璃坩堝
目前的尺寸為直徑8~24in（203.2~609.6mm），太陽(yáng)能硅單晶用占90%，其余為IC硅單晶，通常要求SiO2含量為99.99%。
3、石英玻璃舟、支架等
①擴(kuò)散爐支架；
②石英舟；
③石英玻璃花籃；
④石英玻璃清洗槽
4、石英玻璃鐘罩
5、石英玻璃法蘭
6、石英玻璃基片，用于電子行業(yè)的顯示器，目前用合成石英。
7、光學(xué)用石英玻璃
鏡頭、鏡片及噴涂材料等；激光器、傳感器用等。
